[文章導讀] 能譜儀是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。各種元素具有自己的X射線特征波長，

      能譜儀是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。各種元素具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量△E，能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。

（英國牛津X-act能譜儀）

1.改變束流，在不同計數率下采集石榴石譜峰，獲得穩定的能譜定量分析結果

      可靠的AutoID自動元素識別；在不同計數率下，均可準確定量；保證計數率從1000到100000cps變化，譜峰漂移及分辨率變化<1eV；在高記數率下，實現自動和同修正；優異的低能端分析性，檢測元素Be4到Pu94；能譜儀可實測的MnKa分辨率；符合ISO 15632：2002標準要求；快速可靠的分析性能，基于優異的一體化系統

2.兼容最先進的軟件平臺

      INCAEnergy經典導航模式；操作簡單；5秒內即可得到優異的分析結果；在不同計數率下均可進行有效的和峰校正，實現準確定量；60秒內即可完成全譜面分析采集；能譜儀多種報告輸出方式；AZtecEnergy牛津能譜儀新一代能譜軟件；Tru-Q 無標量定量修正技術——可媲美有標樣定量結果；TruMap實時重疊峰剝離及背底扣除的線掃描和面分布；64位多任務能譜分析軟件

3.AztecOne采集界面實時元素面分布

      界面中有五個功能模塊，每個都清楚的顯示采集步驟；能譜儀最高分辨率可達到2048；可同時保存二次電子像（SE）和背散射電子像（BSE）；可以對點、矩形區域、橢圓形區域以及自定義區域進行采集。

4.采集mapping之后，重建其中任意顆粒的譜圖并比較

      根據線上點的數量或點與點的間距定義線掃描；自動采集整條線的X射線譜圖；能譜儀可以在一個視場內進行多條線掃描；自動標識元素；無標樣定量；和峰修正；快速簡便的報告模版功能；多種供選擇的模版；以Microsoft Word格式輸出。

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